Partikül Ölçümü Temiz oda'lar ve temiz alanlarda hava temizlik sınıfını belirlemek için uygulanır. Partikül Ölçümü test yöntemi Temiz oda'lar ve temiz alanlarda 0,1 μm ile 5 μm boyut aralığında sahip olan partikül ölçümü (parçacık derişiminin ölçülmesi) ve elde edilen partikül sayısına göre bu alanların sınıflandırılmasını sağlar. Partikül Sayımı Testi ve Temiz Odanın Sınıflandırılması tüm cihazların bağlantılarının tamamlanmasının ardından (as-built), tüm ekipmanların ve eşyaların tamamlanmasının ardından insansız işletme sırasında (at-rest) ve insanlı işletme sırasında (in operational) aşamalarında uygulanabilir. Yapılacak partikül sayımı testleri ilgili Temizoda ve temiz alanların ISO14644-1:2015'e göre temizlik sınıflandırmasını belgelemek ve doğrulamak için ISO 14644-2:2015'de belirtilen gerekli sürelere (periyotlara) uygun olarak yapılır.

Partikül Ölçümü için gerekli olan örnekleme noktalarının sayısının belirlenmesi, örnekleme noktalarının yerleşiminin belirlenmesi, temiz oda sınıfının belirlenmesi ve gerekli olan ölçümlerin miktarı ISO 14644-1:2015 standardında yer alan tabloya göre yapılır.